TESCAN MIRA3 场发射扫描电子显微镜（配牛津 AZtec 能谱系统）

一、仪器介绍

图中设备为捷克 TESCAN（泰思肯）MIRA3 系列肖特基场发射扫描电子显微镜（SEM），并集成了牛津仪器 AZtec 系列能量色散 X 射线能谱仪（EDS），是一款集高分辨形貌表征、元素成分分析于一体的高端显微分析设备，广泛应用于材料科学、纳米技术、地质矿产、半导体、生命科学等领域。

MIRA3 采用高亮度肖特基场发射电子源，搭配大样品室设计与多模式成像能力，可在高真空 / 可变压力环境下实现从微米到纳米尺度的精准表征；配套的 AZtec EDS 系统可同步完成样品的元素定性、定量分析与面分布 mapping，实现 “形貌 + 成分” 的一站式表征，满足科研与工业检测的多场景需求。

二、核心技术参数

（一）扫描电子显微镜（SEM）主机

表格

1. 材料微观形貌表征：金属、陶瓷、高分子、纳米材料的表面 / 断面微观结构观察、尺寸测量；

2. 成分分析：样品微区元素定性定量、元素分布 mapping，用于失效分析、杂质检测、界面扩散研究；

3. 多领域适配：半导体芯片缺陷分析、地质矿物岩相分析、生物样品低电压成像、工业产品质量检测等。

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