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长行程线性位移台Indus系列
参考价：￥1.5万-3万
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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| Free3D.ZTxTy.070 | 卓立汉光 | 8.1 |
| Leica LMT260 XY Scanning Stage | 徕卡 | 8.1 |
| Newscale超紧凑线性位移台（6-25mm行程，集成驱动器） | 昊量光电 | 7.8 |
参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 | 自动程度：电动位移台 |
| 价格范围：1.5万-3万 |
产品介绍
产品概述
“Indus系列” 线性位移台 — L050.Indus ~ L150.Indus
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 多种行程规格
· 内置高精度光学位置传感器
产品图片
产品参数
| 序号 | 产品参数 | L050.Indus | L100.Indus | L150.Indus |
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 |
2 | 外形尺寸 | 90 × 24 × 14 mm | 180 × 24 × 14 mm | 250 × 36 × 16.5 mm |
3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 | 标准版、.HV、.UHV：.NM：纯钛，陶瓷 |
4 | 质量（标准版） | 174 g | 388 g | 840 g |
5 | 运动行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm |
6 | 安装空间 | 140 × 24 × 14 mm | 280 × 24 × 14 mm | 400 × 36 × 16.5 mm |
7 | 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s |
8 | 驱动力 | 2 N | 2 N | 2 N |
9 | 保持力 | 3 N | 3 N | 3 N |
10 | 水平方向使用最大负载 | 1 kg | 2 kg | 3 kg |
11 | 双向重复定位精度 | ± 150 nm | ± 150 nm | ± 150 nm |
12 | 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.2 mrad | 0.2 mrad | 0.2 mrad |
13 | 最小步伐（闭环） | 5 nm | 5 nm | 5 nm |
14 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
15 | 位置传感器分辨率 | 2 nm | 2 nm | 2 nm |
16 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK) |
17 | 控制器规格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
“Indus系列”线性位移台 — LS200.Indus
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 多种行程规格
· 内置高精度光学位置传感器
产品图片
产品参数
| 序号 | 产品参数 | LS200.Indus | LS200.Indus.E |
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | 无 |
2 | 外形尺寸 | 82 × 295 × 20 mm | 82 × 295 × 20 mm |
3 | 主体材料 | 标准版、.HV、.UHV 钢，铝合金：1 kg | 钢，铝合金：1 kg |
4 | 运动行程 | 200 mm | 200 mm |
5 | 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s- | |
6 | 驱动力 | 3 N | 3 N |
7 | 保持力 | 5 N | 5 N |
8 | 水平方向使用最大负载 | 2 kg | 2 kg |
9 | 双向重复定位精度 | ± 100 nm | ± 300 nm |
10 | 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
11 | 最小步伐（闭环） | 5 nm | 100 nm |
12 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
13 | 位置传感器分辨率 | 2 nm | 50 nm |
14 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包线，D–Sub15 (PEEK)- | |
15 | 控制器规格 | MC–Newton.S 系列 | MC–Newton.S 系列 |
长行程线性位移台Indus系列信息由北京卓立汉光仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于长行程线性位移台Indus系列报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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