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高精度二维晶体定向仪利用X射线衍射(XRD)原理, 通过测量晶体绕法线转动到不同方位角的Bragg角变化,反演局部晶体表面与镜面夹角△θ,并通过二维扫描实现对整个晶体面△θ的描绘,最终实现二维,晶体面型误差的检测。
●结构紧凑,集成度高●可进行系统集成服务●具有空间分辨,实现二维检测●软件界面友好,人机交互性强●通过几何关系反演,精度高●不依赖标准晶片标定0位,减少系统误差
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