接触式台阶仪厂家

您是否需要解决微小尺寸测量误差难题？您还在为微观测量精度不足、效率低下、适配性差发愁？中图仪器接触式台阶仪厂家NS系列（LVDC传感器核心）凭借亚埃级分辨率、多场景适配性与智能化操作，直击半导体、光伏、MEMS等行业测量痛点，特别解决碳化硅（SiC）测量难题。

一、SiC测量难点

1.看不清：光学测量在透明多层膜结构上容易遇到复杂的干涉问题，数据往往存在噪点。

2.不敢碰：传统的接触式测量如果力度控制不好，很容易划伤昂贵的光刻胶或晶圆表面。

二、台阶仪解决方案

1.物理接触的确定性

NS系列台阶仪亚埃级（Sub-Angstrom）分辨率的探测能力，高台阶高度重复性< 4 Å。无论材料是透明的SiC还是高反光的金属，探针反馈的Z轴位移是不会骗人的。

亚埃级分辨率，高台阶高度重复性＜4 Å

2.0.5mg的微小测力

超微力恒力传感器实现接触无损伤探测

0.5mg这种微小量级的测力，意味着探针划过晶圆表面的力量，仅为一只蚊子重量的四分之一。这种“举重若轻"的控制力，使得我们在量测抗蚀剂（光刻胶）厚度来评估蚀刻工艺性能时，既拿到了微观轮廓数据，又实现了真正的无损探测。此外，针对硬质材料，其磁吸探针设计也解决了更换难、易撞针的问题。

磁吸探针（安全快捷易更换，防撞）

3.从线扫到3D应力分布

支持三维量测（3D扫描表面形貌）。通过双影像导航系统精准定位，它能对晶圆表面进行大范围扫描拼接，不仅能绘制出机械抛光后的表面微观形态，更能直接生成薄膜应力测量曲线。

配合内置的SPC统计（数据收集和分析）功能，工艺工程师可以直观地预判薄膜应力的暗涌，从而评估晶圆质量和工艺稳定性。

三、行业应用

1.半导体制造

沉积/蚀刻薄膜厚度检测、CMP工艺表面平整度管控、抗蚀剂台阶高度分析，助力芯片良率提升。

2.光伏&显示面板

太阳能涂层膜厚测量、AMOLED屏微结构检测、触控面板铜迹线精度分析，适配新能源与显示产业升级需求。

3.MEMS&微纳材料

微型传感器形貌表征、柔性电子器件薄膜厚度检测，支撑微纳技术研发与量产质控。

4.科研与高校

材料表面应力分析、微加工工艺研发数据采集，加速科研项目落地与技术转化。

如需针对您的行业场景定制测量方案、获取详细参数或申请样品测试，欢迎随时联系中图仪器接触式台阶仪厂家，我们将为您提供专业技术支持与咨询服务！

（注：产品参数与功能可能随技术升级更新，具体以实际沟通为准）

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