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光焱SG-O 商用Wafer级图像传感器晶圆测试仪
参考价：面议
品牌：光焱 产地：上海 型号：SG-O 样本：来电或留言获取样本
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产品介绍
SG-O 商用Wafer级图像传感器晶圆测试仪
满足您在 CIS/ALS/光传感器晶圆级测试中的关键需求
SG-O 是一款 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪，结合了高均匀度光源和半自动晶圆探针台。 高均匀度光源可提供 400nm 至 1700nm 的连续白光光谱，并在多个不同波长下输出具有一定半高宽 （FWHM） 的单色光。
描述
探针台可处理最大 200 毫米的晶圆尺寸和尺寸大于 1 厘米 x 1 厘米的单颗晶粒。 SG-O 集成了超低噪声热夹盘，可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围，并具有快速的升温速度和稳定性。 SG-O 满足您在 CIS / ALS / 光感测器设计验证或制程良率检查中的全面需求。
特征
高均匀度光源
- 宽广的光谱范围，涵盖紫外光至短波红外光。
- 高度均匀性，在50毫米x 50毫米区域内均匀度优于98%。
- 超稳定的光强度，10 < 小时内不稳定为 0.2%
- 高光强度动态范围，最高可达140dB。
可程式化自动探针台
- 可处理200毫米至10毫米晶圆或晶粒
- 适用于准确可靠的直流 / 电容-电压、射频量测
- 稳定且功能齐全的显微镜系统
- 整合式硬件控制面板
- 自动晶圆加载器
- 教学式智能晶圆图谱
宽温且低噪声夹盘
- 模块化夹盘
- 宽广的温度范围，从 -80°C 到 180°C
- 先进的 CDA 温度控制技术
- 具备高升温速率和高温稳定性
- 低噪声设计，适用于精确的 CIS/ALS/光传感器晶圆测试
规格
SG-O 提供 CIS/ALS/光传感器晶圆测试所需的关键规格。以下是主要组件及其详细信息。如有任何疑问，请随时联系我们！
高均匀度光源
- 光谱范围：400nm 至 1700nm
- 色彩对比温度：3000K 至 5200K
- 均匀照明面积：42mm x 25mm（200mm 工作距离处）>
- 照明均匀度：优于98%
- 短期光源不稳定度：1 小时内 ≤ 1%
- 长期光源不稳定度：10 小时内 ≤ 1%
- 待测元件与最后光学元件之间的工作距离：≥ 200 毫米工作距离
- 单色光产生 ：
- 中心波长，半峰宽为 10nm： 420nm、450nm、490nm、510nm、550nm、570nm、620nm、670nm、680nm、710nm、780nm、870nm
- 中心波长，半峰宽为 25nm： 1010nm、1250nm、1450nm
- 中心波长，半峰宽为45±5nm： 815nm
- 中心波长，半峰宽为50nm： 1600nm
- 中心波长，半峰宽为60±5nm： 650nm
- 中心波长，半峰宽为70±5nm： 485nm, 555nm
- 中心波长，半峰宽为100±5nm： 1600nm
- 带外透光率 ≤ 0.01%
- 带通区峰值传输 ≥ 80%
- 中心波长容差：（a） ≤ ±2nm; (b)~(g) ≤ ±5nm
- FWHM 容差：（a） ≤ ±2nm; (b)~(g) ≤ ±5nm
- 可变衰减器：电脑控制，3位数分辨率，至少1000步进
半自动晶圆探针
- 晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片
- 晶圆处理：单晶圆，手动进料型
- 半自动化：一步手动对准教和自动模步进
- XYZ 三轴平台
- 卡盘 XY 载物台行程：210mm x 300mm
- 卡盘 XY平台分辨率：优于 0.5um
- 夹头 XY 平台精度：优于 2.0um
- 卡盘 XY 平台速度：最慢：10 微米/秒，最快：50 毫米/秒
- Chuck Z 载物台行程：50mm
- Chuck Z 平台分辨率：0.2um
- 夹盘 Z 轴平台精度：±2.0um
- Theta 平台
- Theta 载物台行程：± 5 度运动范围
- Theta 分辨率：优于 0.01 度
- Theta 精度：0.1 度
- 卡盘
- 卡盘平整度 ≤ 10um
- 卡盘热操作：-60°C 至 200°C
- 25°C 时的卡盘泄漏： 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA
- 卡盘剩余电容 ≤ 95fF
- 探针卡
- 探针卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸长
- 探针卡座与压板之间的间隙：≥ 7.5mm
- 微型腔室
- EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 范围内 ≥ 30dB
- 系统交流噪声：≤ 5 mVp -p
- 微型定位器
- 显微镜
- 隔振台
光谱辐照度计
- 光谱范围：400nm 至 1600nm
- 波长分辨率：400nm 至 1000nm 增加步 < 长 1nm; 1000nm 至 1600nm 增加步长 < 3.5nm
- 校准：NIST 可追溯校准证书
更多规格
SG-O 集成了 光焱科技的先进光模拟器技术和 MPI 自动探针系统。 光焱科技 提供多种光学选项，以满足用户对CIS /ALS /光感测器晶圆测试的要求，包括波长范围、光强度和均匀的光束尺寸。 我们拥有数十年的经验，可帮助客户解决 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试和设计变化的挑战。 请随时与我们联系以获取更多详细信息。 我们的专业团队将为您提供帮助！
系统设计
SG-O CIS / ALS / 光传感器测试仪（晶圆级）系统图。 高均匀度光源由PC-1控制。 光输出透过光纤导引至光学均匀器，以产生均匀的光束。 显微镜和均匀器由PC-1控制的自动位移平台控制，以切换位置和功能。 探针台系统为MPI TS2000，由PC-2控制。 夹盘平台的位置也由 PC-2 控制。 热夹盘温度可在 -55°C 至 180°C 之间控制，涵盖了大多数 IC 测试的温度范围。 光强度由一个硅光电二极管和一个InGaAs光电二极管通过皮安电流计测量和校准。
应用
- CIS/ALS/光传感器晶圆测试;
- CIS/ALS/光传感器晶圆图谱和良率检查
- ToF 传感器测试
- 激光雷达传感器测试
- InGaAs光电二极管测试
- SPAD 传感器测试
- 光传感器模拟参数测试：
- 量子效率
- 光谱响应
- 系统增益
- 灵敏度
- 动态范围
- 暗电流/噪声
- 信噪比
- 饱和容量
- 线性误差（LE）
- DCNU（暗电流非均匀性）
- PRNU（光响应非均匀性）
光焱SG-O 商用Wafer级图像传感器晶圆测试仪信息由光焱科技股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于光焱SG-O 商用Wafer级图像传感器晶圆测试仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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