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[ 产品简介 ]
蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 紧贴国内市场需求,凝结本土创新能力,成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。无需大体积舱室,无碰撞风险,凭借高分辨成像能力与优异低电压表现,可精准测量关键CD尺寸,排查全制程各类微观缺陷,全方位满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求,是半导体检测领域可靠伙伴。
[ 产品特点 ]
ü “全” 视野:可观察直径由原来的155毫米(6英寸范围)扩展至204毫米(8英寸全范围)
ü “高”分辨:搭载Gemini镜筒,助力关键尺寸测量,提供可靠数据支撑
ü “易”操作:极坐标软件控样台,鼠标搞定复杂操作,无碰撞风险,高效安全
[ 应用领域 ]
ü 半导体:PMIC、IGBT、MEMS、汽车电子、CMOS 图像传感器等
[ 应用案例 ]
8英寸Wafer全视野光镜导航图,可提供全尺寸电镜导航
晶圆上的光刻胶图形结构。俯视可测量宽度间距等,倾斜可观察并测量侧壁信息
简洁直观的软件界面
高分辨观察孔洞图形结构光刻胶
低电压观察倾斜后的光刻胶侧壁细节
蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案信息由卡尔蔡司(上海)管理有限公司为您提供,如您想了解更多关于蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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可以做哪些实验?
配套的耗材试剂?
使用注意事项?