蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案

[ 产品简介 ]

    蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 360 紧贴国内市场需求，凝结本土创新能力，成功开发 8 英寸晶圆全尺寸观察解决方案。无需大体积舱室，无碰撞风险，凭借高分辨成像能力与优异低电压表现，可精准测量关键CD尺寸，排查全制程各类微观缺陷，全方位满足半导体研究开发和生产制造的严苛要求，是半导体检测领域可靠伙伴。

[ 产品特点 ]

ü  “全” 视野：可观察直径由原来的155毫米（6英寸范围）扩展至204毫米（8英寸全范围）

ü  “高”分辨：搭载Gemini镜筒，助力关键尺寸测量，提供可靠数据支撑

ü  “易”操作：极坐标软件控样台，鼠标搞定复杂操作，无碰撞风险，高效安全

[ 应用领域 ]

ü  半导体：PMIC、IGBT、MEMS、汽车电子、CMOS 图像传感器等

[ 应用案例 ]

8英寸Wafer全视野光镜导航图，可提供全尺寸电镜导航

晶圆上的光刻胶图形结构。俯视可测量宽度间距等，倾斜可观察并测量侧壁信息

简洁直观的软件界面

高分辨观察孔洞图形结构光刻胶

低电压观察倾斜后的光刻胶侧壁细节

蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案信息由卡尔蔡司(上海)管理有限公司为您提供，如您想了解更多关于蔡司 Sigma 360 8英寸晶圆全观察解决方案报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。