膜厚测量仪（厚度范围1nm~10mm）

美国Filmetrics膜厚测量仪

使用 Filmetrics 膜厚测量仪产品，只需单击鼠标即可测量 1nm 至 10mm 的薄膜厚度。几乎可以测量任何材料，直观的设计意味着您可以在几分钟内进行一次薄膜厚度测量！

Filmetrics 膜厚测量仪通过分析光如何被薄膜反射来测量薄膜厚度。通过分析超出人眼可见波长的波长，Filmetrics 膜厚测量仪可以测量几乎所有厚度大于 100 个原子的非金属薄膜。而且由于没有移动部件，因此可以在几秒钟内获得结果：薄膜厚度、折射率，甚至粗糙度！

越来越多的公司依靠 Filmetrics 膜厚测量仪进行经济实惠的薄膜厚度测量。手机、眼镜、液晶显示器和数百种其他产品的制造商都非常欣赏我们的设备易于使用、成本更低，并且提供无与伦比的支持。事实上，我们的客户每天都在向我们展示我们的薄膜厚度测量工具的新用途！

Filmetrics  膜厚测量仪-测量厚度从 1nm 到 10mm 的膜厚测量系统

Filmetrics 是通用的薄膜厚度测量仪器，在有数千种应用。厚度和折光率可在不到一秒的时间内测量。与我们所有的厚度测量仪器一样，F20 可连接到 Windows™ 计算机的 USB 端口，并在几分钟内完成设置。不同的 F20 仪器主要根据波长范围进行区分。标准 F20 是 Filmetrics 非常受欢迎的产品。通常，较薄的薄膜需要较短的波长（例如 F20-UV），而较长的波长允许测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。

Filmetrics 膜厚测量仪包括什么配件？

• 集成光谱仪/光源单元

• FILMeasure 5.0 软件

• 具有多位置聚焦的 SS-3 样品台

• 光缆

• 参考资料

• 厚度标准

• 作手册的硬拷贝

• 连接电缆

• FILMeasure 独立软件（用于远程数据分析）

• 备用灯

• 镊子

Filmetrics  膜厚测量仪测试原理：

当指定波长范围的光照射到薄膜上时，从不同界面上反射的光相位不同，从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。

比如：

半导体（硅，单晶硅，多晶硅）

半导体化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微电子机械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻胶

硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）

聚合物涂层（聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

Filmetrics 膜厚测量仪分类：

1、单点膜厚测量——F20
2、单点手持膜厚测量——F10-HC
3、聚焦光斑膜厚测量仪——F40
4、支持Mapping的聚焦膜厚测量仪——F50
5、在线膜厚测量仪——F30