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中微 PRISMO UniMax® MOCVD设备
参考价：面议
品牌：中微公司 产地：中国 型号：PRISMO UniMax® 样本：来电或留言获取样本
AI Agent
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参数
| 产地类别：国产 | 应用场景：半导体 | 供应商性质：生产商 |
产品介绍
中微具有自主知识产权的PRISMO UniMax® MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片，通过石墨盘的调整，可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统，专为高性能Mini LED量产而设计，具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外，PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了785mm大直径石墨托盘，极大地提高了设备产能，并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本。
PRISMO UniMax®
为高端显示应用所需的Mini LED大规模生产提供的MOCVD外延解决方案
自主的实时监控系统 精准的参数控制 自动化的控制与维护功能 符合半导体标准的软件控制系统产品特点
可独立控制的反应腔运行模式 新颖的局部温度调控加热系统 优异的LED波长均匀性竞争优势
中微 PRISMO UniMax® MOCVD设备信息由中微半导体设备（上海）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于中微 PRISMO UniMax® MOCVD设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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