IoN 100是我们在真空等离子体技术领域的新进展。气体等离子体依靠其多功能性、绿色环保，正在迅速成为生命科学、电子和工业领域中对材料表面进行改性的关键技术。例如，医疗诊断设备的微型化趋势要求精密清洁和选择性化学功能化的表面。等离子体去除有机污染的效果比湿化学法要高几个数量级，而且可以在纳米级别内使表面化学功能化。因此，等离子技术正在取代不再经济或不再实用的传统处理方法。

IoN 100旨在满足用户不断变化的需求，着重于表面处理需求的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效保护报警系统和数据采集软件。这使系统可满足生命科学工业中严格的质量控制程序。IoN 100结构紧凑、集成度高，采用射频（RF）激发等离子体。新型 IoN 100 的另外一个设计特征是可以快速方便的更换不同类型的腔室和电极结构。

先进的功能特性：

● 灵活快速地更换不同结构的电极和腔室

● 用户可以自行安装

● 可选配机载气体发生器

● 节能的操控功能有效降低用户使用成本

● 可配置的腔室可使用各种不同的电极构造，适用于小尺寸的结构复杂的3维工件或大批量的大工件处理

● 使用Windows系统的计算机控制

● 符合CFR (美国联邦法规) 第21章第11部分和Semi E95-1101的图形用户界面（GUI）

● 单独的用户软件访问权限：操作者、工艺编写、维护

● 自定义的工艺误差控制保证了精确的批次可重复性

● 通过以太网进行远程统计过程控制监测

● 机载诊断功能和报警记录

● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

● 液晶触摸屏显示器（LCD）和键盘

详细资料

技术参数

● 控制：基于Windows操作系统的触摸屏操作界面，全自动控制。

● 多重工艺步骤，实时图形显示，多重密码权限，数据存储，并可提供对所有等离子参数进行实时的光谱监测。

● 腔室： 9" x 13" x 20" 铝质，带有高电导的KF40真空接口和隔离阀，可选节流阀。

● 可选5层、7层或笼式电极。

● 射频发生器：风冷，600 瓦 13.56 MHz，带有自动阻抗匹配网络。

● 显示屏：彩色触摸屏，用于控制和监测工艺参数、自动工艺菜单或手动等离子处理。

● 两路用户指定气体，标准配备500 sccm MFC，可选第三路气体。

● 电源需求： 380 V，三单相，50 Hz 。

● CE 认证

安全保障

●电路和软件互锁

   · 射频电源

   · 压力

   · 腔室门 开/关

●前后反应室中心和柜壁上的紧急停止按钮

●手动和编辑模式下的密码认证。

●声音报警

●用于工艺参数限制的软件报警

●超温报警传感器（射频单元）

●射频单元与处理室门之间有继电器硬件连锁

●连接到24VAC扩展控制回路的外部连锁