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仪器简介:
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便, 是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
技术参数:
靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 真空室:直径:160mm,高:120mm 样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm 离子电流表:zei大电流:50mA zei高电压: -1600V 机械泵: 2升/每秒
主要特点:
轻便、溅射面积大 靶材可按用户要求加工制作
小型离子溅射仪,JS-1600
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