Femtika公司设计并生产的飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。与传统的微纳3D打印设备相比，Laser Nanofactory不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工，还可以用于石英，陶瓷，玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。设备加工速度可高达50mm/s，加工精度优于100nm，还可实现不同加工工艺间的无缝切换。得益于Femtika先进的飞秒激光技术，Laser Nanofactory在进行微纳加工时所产生的热效应小，加工出的结构边缘锐利，因此特别适合微纳结构的加工。

应用领域

• 微纳光学

• 微流控

• 微纳机电器件（M/NEMS）

• 纳米技术

• 生物医药

• 通讯技术

• 传感器件

• 材料表面改性

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Laser Nanofactory技术参数

飞秒激光	波长	1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm
	脉冲持续时间	<290 fs - 10 ps
	脉冲能量	>65 μJ
	最大平均功率	>4 W
	重复率	60 - 1000 kHz
	冷却方式	气冷
定位平台	XY方向移动范围	160 mm x 160 mm
	Z方向移动范围	60mm
	XYZ正交性	3 arc sec
	分辨率	1 nm (XY), 2 nm (Z)
	最高速度	350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z)

Laser Nanofactory制备的多光子聚合物3D结构

Laser Nanofactory选择性刻蚀结果展示

Laser Nanofactory在样品上进行激光烧蚀

Laser Nanofactory对器件中的不同材料采用不同加工技术（无缝切换）

用户单位

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飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory