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发布时间:2023年03月
Femtika公司设计并生产的飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统。与传统的微纳3D打印设备相比,Laser Nanofactory不仅可用于光子学聚合物微纳结构的加工,还可以用于石英,陶瓷,玻璃和金属等材料从毫米到微米尺度的精确加工。设备加工速度可高达50mm/s,加工精度优于100nm,还可实现不同加工工艺间的无缝切换。得益于Femtika先进的飞秒激光技术,Laser Nanofactory在进行微纳加工时所产生的热效应小,加工出的结构边缘锐利,因此特别适合微纳结构的加工。
应用领域
• 微纳光学
• 微流控
• 微纳机电器件(M/NEMS)
• 纳米技术
• 生物医药
• 通讯技术
• 传感器件
• 材料表面改性
......
Laser Nanofactory技术参数
飞秒激光
波长
1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm
脉冲持续时间
<290 fs - 10 ps
脉冲能量
>65 μJ
最大平均功率
>4 W
重复率
60 - 1000 kHz
冷却方式
气冷
定位平台
XY方向移动范围
160 mm x 160 mm
Z方向移动范围
60mm
XYZ正交性
3 arc sec
分辨率
1 nm (XY), 2 nm (Z)
最高速度
350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z)
Laser Nanofactory制备的多光子聚合物3D结构
Laser Nanofactory选择性刻蚀结果展示
Laser Nanofactory在样品上进行激光烧蚀
Laser Nanofactory对器件中的不同材料采用不同加工技术(无缝切换)
用户单位
飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory,Laser Nanofactory
飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory信息由QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司为您提供,如您想了解更多关于飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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[报告简介]飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory是一款集增材与减材制造于一体的综合微纳加工系统,可以高效快速地制备各类生物医学、微纳机电、光学及通信类微纳器件,正逐渐成为各类研发机构主要的微纳加工设备。与传统激光加工技术相比,飞秒激光加工技术具有高分辨、高对准精度、适用材料范围广等诸多优势,能够轻松实现微米、亚微米级精度的3D增材制造。配合各类标准微加工工艺,能够方便快捷地实现各类样品的的制备。在本报告中,将重点介绍飞秒激光加工综合
飞秒激光微纳加工综合系统-Laser Nanofactory
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