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描述:主要用于射频等离子体/直流放电等离子体/激光等离子体和微波等离子体的电子密度、离子密度、等离子体电位和电子温度等状态参数的测量。
仪器简介:ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的朗缪尔探针(Langmuir Probe)。应用:· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体· 脉冲等离子体操作· 离子密度 (Ni & Gi)· 电子温度(Te)· 电子能量分布(EEDF)· 电子密度(Ne)· 等离子体电位· Debye 长度,悬浮电位主要特点:· 获得数据速度:每秒15次扫描,通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析· Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中 ESPion 具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(例如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如,供电源引起)· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀, 90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选· 自清洗循环,防止探针尖端污染· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制
·Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) · 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率
参数
·获得数据速度: 15scans/s,
·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析·300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀,
·90°探针,组合式线性-旋转驱动器可选·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,
·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
·自清洗循环,防止探针尖端污染· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制
高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)ESPion,ESPion
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