高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）ESPion

描述：主要用于射频等离子体/直流放电等离子体/激光等离子体和微波等离子体的电子密度、离子密度、等离子体电位和电子温度等状态参数的测量。

仪器简介：
ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。

应用：
· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te)
· 电子能量分布(EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位


主要特点：
· 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
· Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)
· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路
· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选
· 自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

·Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如，供电源引起)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率 

参数 

·获得数据速度：     15scans/s，

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
·300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀，

·90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选
·ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途