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JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。 被加速的镓离子束经聚焦照射样品后,能对样品表面进行SIM观察 、研磨、及碳和钨等沉积。还可以为TEM制备薄膜样品,为观察样品内部制备截面样品。 该设备能配置3D观察功能、自动TEM样品制备功能,能对应多种制样需求。
高性能FIB镜筒
JIB-4000PLUS采用高性能的FIB镜筒,最大离子束流高达 60 nA,可以扩展到90nA大束流(为可选件),能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨,100 μm以上的大截面也可以在短时间内制成。
图1 100μm 直径焊料凸块的截面制备和截面观察
用户友好的FIB装置
JIB-4000PLUS高性能的 FIB镜筒具有出色的可操作性,外观和GUI设计都很友好。 即使没用过FIB也能够轻松操作; 此外,该装置小巧紧凑为业界最小体积,安装场所的选择范围很大。
双样品台
JIB-4000PLUS标配的块状样品马达驱动样品台可供块状样品使用,此外还可以增配侧插式测角台(TEM用Tip-on 样品架可以直接插入)。侧插式测角台与JEOL的TEM系统通用,这样,FIB加工和TEM观察的反复交替就能很容易地进行。
3D观察功能
为了进行3D观察,设备标配连续切片截面观察功能。JIB-4000PLUS虽然是单束FIB,但是可以通过SIM像进行3D观察。用3D重构软件,可以将收集到的截面图像重建为3D图像,可以从各种角度显示3D图像。
图2 CCD imaging center 的3D重构图
自动TEM制样功能
自动TEM制样功能 "STEMPLING" 是选配件。有了这个功能,制样不需要有很高的技能,任何人都能简单地制样,也可以对多个样品自动制样,提高工作效率。
图3 自动TEM制样功能 (STEMPLING) 的加工例 样品:焊料
丰富的附件
有各种附件可用来支持JIB-4000的操作。包括对电路修改应用特别有效的CAD导航系统,对特殊形状加工有效的矢量扫描系统等。通过给JIB-4000安装适当的附件,该系统可以支持样品制备以外的应用。
产品规格
FIB
JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统,JIB-4000PLUS
JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统信息由日本电子株式会社(JEOL)为您提供,如您想了解更多关于JIB-4000PLUS 聚焦离子束加工观察系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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