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气路通道:6(可根据客户需求设计1-8通道) 气路流量控制器 采用质量流量计控制: 标准量程(N2) :200,500 SCCM 准 确 度 :±1.5% 线 性 :±0.5~1.5% 重 复 精 度 :±0.2% 响 应 时 间 :气特性 1~4 See 电特性 10 See 工作压差范围 :0.1~0.5 MPa zei 大 压 力 :3 MPa 接 口 :Φ6,1/4” 显 示 :4位数字显示 工作环境温度:5~45℃ 高纯气体不锈钢管:Φ6外X Φ4内 压 力 真 空 表 :-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截 止 阀 :Φ6
1.本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。 2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。 4.显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。 5.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。
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