供气（混气）系统

气路通道：6（可根据客户需求设计1-8通道）

气路流量控制器

采用质量流量计控制：

标准量程（N2） ：200，500 SCCM

准 确 度 ：±1.5%

线 性 ：±0.5～1.5%

重 复 精 度 ：±0.2%

响 应 时 间 ：气特性 1～4 See

电特性 10 See

工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa

zei 大 压 力 ：3 MPa

接 口 ：Φ6,1/4”

显 示 ：4位数字显示

工作环境温度:5~45℃


高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内



压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格


截 止 阀 ：Φ6

1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。
2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。
5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途