产品型号:PDC-32G 等离子清洗机
产品简介:
PDC-32G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率zei大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 。如果您对等离子表面处理没有经验,可以参考以下文献:
1、McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Substrate Changes Associated with the Chemistry of Self-Assembled Monolayers on Silicon." Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.
2、Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, Reginald M. Penner, John C. Hemminger, Lisa M. Wingen, Theo Brauers, Barbara J. Finlayson-Pitts. "The Nature of Water on Surfaces of Laboratory Systems and Implications for Heterogeneous Chemistry in the Troposphere." Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.
3、Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparation of Solid-Supported Lipid Bilayers by Spin-Coating." Langmuir (2002) 18: 8172-8177.
主要特点:
结构紧凑、桌上型仪器;
使用可调射频电源;
可以设置功率为低、中、高级别;
低成本、环境友好、操作安全。
技术参数:
1、输入电压:110/220,50/60Hz,小于100W(请在订货时说明);
2、输出频率:13.56MHz;
3、等离子直流电源:
低功率设定:直流680V,10mA,6.8W;
中功率设定:直流700V,15mA,10.5W;
高功率设定:直流720V,25mA,18W;
4、等离子腔室:
直径75mmx长165mm,耐热玻璃
前盖可以拆卸。
5、真空泵和阀的要求:
a,大于每分钟160L
b,极限压力:200mtorr或者0.27mbar
c,可以选择数字真空表
d,针阀控制气体流量
e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气。
6、气体:多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。警示:不能使用可燃性气体。
7、外形尺寸:200mmx250mmx210mm
8、净重:(不含泵)8kg
具体信息请点击查看:www.kjmti.com
等离子清洗机,PDC-32G
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