等离子清洗机

产品型号：PDC-32G 等离子清洗机

产品简介：

PDC-32G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下，去除速率zei大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理，对生长具有显著的作用 。如果您对等离子表面处理没有经验，可以参考以下文献：

1、McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Substrate Changes Associated with the Chemistry of Self-Assembled Monolayers on Silicon." Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.

2、Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, Reginald M. Penner, John C. Hemminger, Lisa M. Wingen, Theo Brauers, Barbara J. Finlayson-Pitts. "The Nature of Water on Surfaces of Laboratory Systems and Implications for Heterogeneous Chemistry in the Troposphere." Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.

3、Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparation of Solid-Supported Lipid Bilayers by Spin-Coating." Langmuir (2002) 18: 8172-8177.

主要特点：

结构紧凑、桌上型仪器；
使用可调射频电源；
可以设置功率为低、中、高级别；
低成本、环境友好、操作安全。

技术参数：

1、输入电压：110/220,50/60Hz,小于100W（请在订货时说明）；

2、输出频率：13.56MHz;

3、等离子直流电源：

低功率设定：直流680V，10mA,6.8W;

中功率设定：直流700V，15mA,10.5W;

高功率设定：直流720V，25mA,18W;

4、等离子腔室：

直径75mmx长165mm,耐热玻璃

前盖可以拆卸。

5、真空泵和阀的要求：

a,大于每分钟160L

b,极限压力：200mtorr或者0.27mbar

c,可以选择数字真空表

d,针阀控制气体流量

e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气。

6、气体：多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。警示：不能使用可燃性气体。

7、外形尺寸：200mmx250mmx210mm

8、净重：（不含泵）8kg

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