NOC-4000进口光学镀膜机

NOC-4000进口光学镀膜机概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

NOC-4000进口光学镀膜机应用

·         光学涂层

·         溅射

·         离子束辅助沉积

·         离子束刻蚀清洗

·         离子束辅助反应刻蚀

·         红外涂层

·         表面处理

NOC-4000产品特点:

·         射频偏压样品台

·         膜厚监测仪

·         极限真空5x10^-7Torr

·         高精度及高重复性

·         高品质膜层

·         原子级的洁净表面

·         原子级清洗和抛光

·         通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

·         自动上下载片

·         两个腔体之间自动传送

·         菜单驱动，4级密码访问保护

·         完整的安全联锁

·         占地面积46”D x 44”W

NOC-4000选配项:

·         向下/向上溅射

·         共溅射

·         DC，RF以及脉冲电源

·         离子束辅助沉积

·         电子束源

·         等离子源

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