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NOC-4000进口光学镀膜机概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
NOC-4000进口光学镀膜机应用
· 光学涂层
· 溅射
· 离子束辅助沉积
· 离子束刻蚀清洗
· 离子束辅助反应刻蚀
· 红外涂层
· 表面处理
NOC-4000产品特点:
· 射频偏压样品台
· 膜厚监测仪
· 极限真空5x10-7Torr
· 高精度及高重复性
· 高品质膜层
· 原子级的洁净表面
· 原子级清洗和抛光
· 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
· 自动上下载片
· 两个腔体之间自动传送
· 菜单驱动,4级密码访问保护
· 完整的安全联锁
· 占地面积46”D x 44”W
NOC-4000选配项:
· 向下/向上溅射
· 共溅射
· DC,RF以及脉冲电源
· 电子束源
· 等离子源
NOC-4000进口光学镀膜机,NOC-4000
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