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产品特点:1、 热塑化2、 紫外固化3、 热压与紫外压印同时进行4、 热固化5、气垫软压技术(ACP)6、Nanonex专利技术7、 完美的整片基板纳米压印均匀性8、高通量9、低于10nm分辨率10、亚1微米对准精度11、快速工艺循环时间(小于60秒) 灵活性12、4″, 6″, or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印13、方便用户操作14、基于超过12年、15代产品开发经验的自动化压印操作,Nanonex压印系统经过大量实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定15、全自动纳米压印
规格参数:1、热塑压印模块 温度范围0~250oC 加热速度>300oC/分钟 制冷速度>150oC/分钟 压力范围0 ~ 3.8 MPa(550 psi)2、紫外固化模块 200W窄带紫外光源 365纳米或395纳米波长可选 全自动化控制3、对准模块 <1μm 3σ对准准确率 X, Y, Z, Theta平台 分场光学和CCD相机4、模版装载功能 4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印5、系统 8”模板可升级6、基板装载 标配纳米压印系统可装载4″基板 6″和8″基板可选 各种尺寸及不规则形状模板及基7、板均可压印 独特专利保护ACP技术可限8、度保护基板和模板,特别对于象磷化铟(InP)等极易碎模板和 基板给予限度保护。
Nanonex纳米压印系统NX-2500, NX-2500
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