HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时，提供异常压力控制功能，该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式：一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启，另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。
上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
1. 机械预设、遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装
阀门材质： | |
阀门主体 | 304不锈钢 |
焊接波纹管轴封 | AM-350 |
驱动轴和驱动销 | 硬质不绣钢 |
阀门密封方式： | |
高真空 | 氟橡胶 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差压关闭 | 1 bar |
真空： | |
压力范围 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）： | |
阀门主体 | 150 °c |
驱动方式 | 气动 60 °c |
使用寿命：100,000启闭次数 | |
公称通径：DN100-320 mm |
订货号
HVA 三位真空闸阀 21700 系列订货号及2D,3D展示图
DN | Model | KF/ISO-F | ISO-K | CF-F* | ||||
mm | inch | Number | 3 (Bolted) | 6 (Clamped) | 0 or 4 (Conflat) | |||
100 | 4.00 | 21712-040_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
160 | 6.00 | 21712-060_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
200 | 8.00 | 21712-080_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
250 | 10.00 | 21712-100_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
320 | 12.00 | 21712-120_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D |
构成部件
HVA 三位真空闸阀 21700 系列部件图：
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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