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HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列

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参考报价: 面议 型号: HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700
品牌: HVA 产地: 美国
关注度: 暂无 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无

HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时,提供异常压力控制功能,该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。

上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。


HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 产品优点:

1. 机械预设、遥控过渡阀位

2. 三个位置都有指示器

3. 标准或者定制法兰

4. 至少一百万使用周期

5. 任意位置安装


HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 技术参数:

阀门材质:


阀门主体

304不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

驱动轴和驱动销

硬质不绣钢

阀门密封方式:


高真空

氟橡胶

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差压关闭

1 bar

真空:


压力范围

高真空1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):


阀门主体

150 °c

驱动方式

气动 60 °c

使用寿命:100,000启闭次数


公称通径:DN100-320 mm



HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列 构成部件:

订货号

HVA 三位真空闸阀 21700 系列订货号及2D,3D展示图

DN

Model

KF/ISO-F

ISO-K

CF-F*





mm

inch

Number

3 (Bolted)

6 (Clamped)

0 or 4 (Conflat)




100

4.00

21712-040_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

160

6.00

21712-060_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

200

8.00

21712-080_R

2D

3D

2D

3D

2D

3D

250

10.00

21712-100_R

2D

3D

-

2D

3D


320

12.00

21712-120_R

2D

3D

-

2D

3D


 

构成部件

HVA 三位真空闸阀 21700 系列部件图:
 

HVA 21700

HVA 21700


伯东是德国 Pfeiffer 真空泵检漏仪质谱仪真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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