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仪器简介:
JIB-4700F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪,对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体,应用范围广泛。
技术参数:
FIB 分辨率: 5nm, 30kV SEM分辨率: 1.2nm, 30kV 气体输入系统 1-3
主要特点:
监控、切割、组装和三维图像重构连续操作 2.离子大束流,最大90nA ,加工速度超快 3.电子大束流,最大200nA,EDS/WDS/EBSD/CL分析效率超高 4.3D观察、3D分析 5.气体注入系统用于刻蚀和沉积 6.zei大装样 150 mm 7.气锁式样品交换 8.六轴全对中样品台 9.多个样品分析接口,如冷台、冷冻传输样品台等
10.可以配合本公司特殊透射电镜样品杆,加工后直接观察透射
JIB-4700F聚焦离子束双束(FIB),JIB-4700F
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