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401 和 406 系列高性能大平台双轴线性平移台由两个正交的平移支撑件组成,以实现较低的设备型面以及能够支撑高达 100 lb. 负载的大型工作区域。
集成的正交平移,提供最薄型,用于 XY 移动
大工作区域,为多个组件提供 XY 平移
线性轴套,带有循环滚珠轴承,可实现偏差小于 200 ?μrad 的平滑移动
与 Newport 手动和电动促动器兼容
大平台双轴线性精密刚位移台, M-401
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