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产品简介日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑,占地面积小,但分辨率不输大型电镜,同时操作极其简便,几乎不用培训就可操作。紧凑型设计,分辨率为4 nm。扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析,在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来,扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加,而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此,体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm,相比SU1510型号体积减小52%,重量减轻45%,功耗减小50%,且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离,安装非常灵活。FlexSEM 1000采用最新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器,分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能,操作简便,即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外,新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航,一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。特点:a. 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察b. 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片c. 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野d. 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2*1 设置在桌面时,分离主机和电源箱*2 选配
高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)
能量分散型X线探测器(EDS)
日立扫描电子显微镜FlexSEM 1000 ,FlexSEM 1000
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