产品介绍

ARS纳米级超稳超低振动型低温探针台的设计具有极大的灵活性，可用于无损器件测试。探针配置和系统设计可以根据您的具体实验要求进行定制。系统标准温度配置为低温5K，可选450K和800K高温度选项。

探针台采用ARS闭式循环制冷机，ARS制冷机为气动驱动GM制冷机，它具有一级冷台制冷能力高和固有的低振动相结合的特点，使其成为纳米科学和敏感器件测量的理想选择。 ARS探针台都采用高质量的真空元件，高抛光的不锈钢真空腔室和镀镍的高纯铜辐射屏蔽提供了干净的样品环境。低发射率和高导热率的镀镍和铜防热辐射屏使样品台具有更大的冷却能力。

ARS不仅是探针台的生产商，也是制冷机的生产商，这确保了集成制造的一致性，并能对系统提供整体的售后保障。

应用案例：

● 电磁特性

● 微波特性

● 低频，高频特性

● MEMS

● 纳米电子学

● 超导特性

● 纳米器件光电性能

● 量子点及纳米线

● 单电子

● 低电流物理特性

特点	备注
温度范围：< 6K-350K
振动优于50纳米
10英寸不锈钢真空室
7英寸镀镍无氧铜防热辐射屏
2.25英寸镀金无氧铜样品台
高纯石英观察窗
蓝宝石防热辐射屏冷窗
多至6个三维微操作探针臂
可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂
控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器	温度计安装位置： 1、冷头温度计，用于诊断 2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温 3、样品温度计，用于精确测量样品温度 4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样
7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源	可升级16:1显微观察系统
规格及技术参数
制冷方式	闭循环制冷，无需液氦
温度范围	6K-350K （可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）
温度稳定性	优于50mK
泵抽真空时间	机械泵约45分钟分子泵约10分钟
降温时间	约4小时至10K（DE2010S冷头）
真空腔	不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口
防热辐射屏	镀镍无氧铜防热辐射屏直径7英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头
样品台	镀金无氧铜样品台 2.25英寸直径
样品台连接	接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）
探针臂位移台	手动驱动不锈钢焊接波纹管连接 X方向（轴向）2英寸行程 Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米
振动	氦气减震，< 30-50纳米（峰对峰）
温度计安装	4个温度计，2套加热器 4个温度计位置： 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断 1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置： 1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温 1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温
显微观测系统	标准7:1显微镜 4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08 光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜 12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15 光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器
探针臂
直流/低频探针臂	微型同轴电缆接头：SMA或BNC 频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径： 0.5微米（其他半径可选）
GSG高频探针臂	0-40GHz 接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头：2.4 电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头：1.85 电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖
光纤探针臂	紫外/可见或可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模