Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室,能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台(或转移到真空室),并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。
与普通的真空Load Lock不同,该真空室具有以下特点和优点:
√ 典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸
√ 无需闸板阀
√ 操作非常方便
√ 低成本
√ 在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架
Lake Shore定制探针台,定制探针台
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