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产品特点:
? 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析。
? 高性能的低价光学薄膜测量仪。
? 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。
? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。
? 无复杂设定,操作简单,短时间内即可上手。
? 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
产品规格:
应用范围:
? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
应用范例:
? PET基板上的DLC膜
? Si基板上的SiNx
膜厚测量仪,-
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