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KSI-Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统
声学显微成像系统和光学显微成像系统的完美结合
KSI Nano型超声波扫描显微镜是拥有高分辨率的声学显微成像系统,它能对实测器件的表层缺陷作超高分辨缺陷检测。
在使用100MHz——2000MHz的超高频超声波时,这种分辨率得以实现。
KSI nano 还包含一个倒置光学显微镜,在进行超声波检测前可利用它调整样品的位置。
KSI nano超声波扫描显微镜系统还应用于世界各地的生命和物质科学研究。
- 换能器频率范围:100MHz——2000MHz频率实现高分辨率- 探测深度<100nm- 特殊平均模式使信噪比更好- 同步光学成像和超声波成像使样品在结构上、生物化学性能上和机械性能上具有关联性。- 光声效应增强了对比性- 放大倍数:1000倍- 入射光显微镜和倒置光学显微镜可调节
KSI-Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统, Nano
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