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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点:
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空环境使用;
- 加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;
参考用户:
中科院上海技术物理所,中国电子科技集团41所;
大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品, VPO-300
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