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仪器简介:
应用: ◆蚀刻-半导体-砷化镓等 ◆蚀刻-平板显示 ◆蚀刻-微机电系统 ◆化学气相沉积 ◆去光阻 ◆化学机械研磨
技术参数:
等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析,从而了解机台的工作状况。 可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中,或配置为使用时独立于过程的控制器,这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序,通过一台独立的应用计算机或Verity的MTC1000多任务计算机进行操作。运行SpectraView软件的应用计算机通过USB或以太网通信链路管理光谱仪。这个应用计算机接收来自系统主控计算机或处理模块的控制命令(配方、启动、停止),并根据接口的定义返回端点及其他事件结果。
主要特点:
◆等离子诊断 ◆缺陷检测 ◆200-800纳米 ◆制程监控 ◆符合RoHS要求 ◆科研级CCD ◆体积小 ◆软件功能强大 ◆可独立操作
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