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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到世界最高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。
焊线的截面加工(加工尺寸 宽:95µm 深:55µm, 加工时间 20min)
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1kV以下为选配
正常部位
弯折部位
铝罐的截面SIM图像
可在样品台移动(包括倾斜)时自动对多个部位进行多种加工。
截面制备程序加工
TEM/STEM样品程序加工
自动连续加工
TEM样品自动连续精加工软件
位图加工
Vector Scan加工
制备纳米精度三维结构样品 其他
悬空纳米导线制作样品来源:兵库县立大学 松井真二 先生
等间隔截面加工与截面观察的往复进行,可取的多张截面连续SIM像,并进行3维重构。由此可判断样品中颗粒,孔洞等3维分布状态。
半导体封装材料中的填料分布分析示例
该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途,照射多种气体。
钨沉积气体
铂沉积气体
绝缘膜制备用沉积气体
氟化氙蚀刻气体
有机类蚀刻气体
碳沉积气体
使用XeF2气体实现的大深径比孔加工以及采用钨沉积引线
日立高新技术公司独创的坐标链接功能丰富多样,可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。
光镜图像与SIM像的链接双光标功能日本专利第4634134号 美国专利第7595488号
与缺陷检测设备建立坐标链接已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接。
CAD联用导航软件
选购件
4通道供气系统
自动连续加工软件
TEM样品自动加工软件
控制器显微镜 其他
*:可选择其他MI系列的各种选配件。
规格
高性能聚焦离子束系统 MI4050,MI4050
高性能聚焦离子束系统 MI4050信息由日立高新技术公司为您提供,如您想了解更多关于高性能聚焦离子束系统 MI4050报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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