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四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪(自动测试台+带软件) 型号:KDK-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。2、主机技术能数(1)测量范围:可测电阻率:0.0001~19000Ω?cm可测方块电阻:0.001~1900Ω?□(2)恒流源:输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调量程:0.001~0.01mA0.01~0.10mA0.10~1.0mA1.0~10mA10~100mA恒流精度:各档均低于±0.05%(3)直流数字电压表:测量范围:0~199.99mV灵敏度:10μV基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)输出电源:≥1000ΩM(4)供电电源:AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W(5)使用环境:温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%无较强的电场干扰,无强光直接照射(6)重量、体积:主机重量:7.5kg体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)备注:等级测量时(测电阻率),精度<3%电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内 备注:仪器包括:主机一台;测试架(包括台面)一个;四探针头1个;软件
四探针电阻率测试仪, KDK-KDY-1
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