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新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
技术参数:
·光谱范围:450-1000 nm
·多种微光斑自动选择
·专利光斑可视技术,可观测任何样品表面
·CCD探测器
·自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
·70度角入射
主要特点:
·完全自动化设计,一键式操作,直接报告输出·液晶调制技术,测量光路中无运动部件·CCD探测系统,快速全谱输出·多个微光斑尺寸选择,专利可视技术·封闭式样品仓
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