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UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时,配备革新的可视系统,多达8个尺寸微光斑选项,最小达35×85μm2,适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上独一无二的机型。技术参数:
·光谱范围:190-2100 nm
·8种光斑尺寸: 最小35 X 85 um
·探测器:3个独立探测器,分别优化紫外,可见和近红外
·自动样品台尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
·样品水平度自动调整
·自动量角器:变角范围35°- 90°,全自动调整,最小步长0.01°
主要特点:
·完全自动化设计,自动对焦、校正
·全新光路、电路设计,测量精度更高,速度更快
·50KHz高频PEM相调制技术,测量光路中无运动部件
·双光栅光谱仪系统,杂散光抑制水平高
·8个尺寸微光斑,专利可视技术
·自动平台样品扫描成像
HORIBA JY研究级全自动椭偏仪UVISEL 2, UVISEL 2
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