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NX-B100多功能整片基板纳米压印系统(热压印)
最大75毫米直径压印面积 热压印
加热速度>200℃/分钟 制冷速度>60℃/分钟
NX-B200多功能整片基板纳米压印系统(热压印和紫外压印)
最大75毫米直径压印面积 热压印和紫外压印
58mW/cm2紫外LED光源;365纳米或395纳米波长可选;全自动化控制
NX-1000多功能整片基板纳米压印系统(热压印)
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印 加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟
NX-2000多功能整片基板纳米压印系统(热压印和紫外压印)
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选 热压印和紫外压印
加热速度>300℃/分钟 制冷速度>150℃/分钟
200W窄带紫外光源;365纳米或395纳米波长可选;全自动化控制
NX-2500
多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印系统
标配4英寸,6或8英寸压印面积可选
热压印和紫外压印
带对准功能(亚1微米对准精度) 多层次的纳米压印
对准模块 <1μm 3σ对准准确率 X, Y, Z, Theta平台
分场光学和CCD相机
NX-2600
多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印和高分辨率光刻系统
可选背面对准
标配5”模板,标配4”直径基板 其他尺寸可以提供500瓦紫外水银灯光源
纳米压印和高分辨率光刻系统, NX系列
纳米压印和高分辨率光刻系统信息由亚铭(北京)科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于纳米压印和高分辨率光刻系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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