室温真空探针台

  室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。

  PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。

特点
• 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。
• 样品座可以放置4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足4英寸范围内全部位置的扎针测试。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。
• 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。
• 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。
• 可选微波探针臂，频率可达到110GHz。

型号分类：

参数和指标： 

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