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Adgarde 室温磁场探针台(PSM-EM-4)不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试,并且可以为样品测试提供一个可变磁场,磁场较强,磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计,在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。
稳定的双位移调节系统,可以调节样品座和探针臂的位移。
样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品
能自动控制电磁铁的前后运动和N.S电极方向的转变,并且能精准定位
最多可安装6个探针臂
探针臂设置了粗调、微调和360度自由旋转,结合样品座的移动可以扎到样品的任意位置。
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电流小,在100fA以内
CCD最大放大倍数为180倍,最大工作距离为100mm
滑台和样品座均采用真空吸附固定。
参数和指标
样品座
卡盘尺寸 2/4/6/8英寸,可定制
材质 无氧铜镀金
样品固定方式 多孔吸附
滑台
X-Y移动行程 X-±50mm,Y-±50mm
移动精度 10μm
探针臂
X-Y-Z移动行程 X-13mm,Y-13mm,Z-13mm
旋转度 360度自由旋转
探针臂数量 可安装6个探针臂(左右两边各3个)
电学线缆 三同轴线缆
漏电流 100fA
探针类型 直流探针
光学系统
显微镜放大倍数 10-180倍
显微镜工作距离 90-100mm
CCD相机分辨率 3800万像素
电磁铁组件
磁铁型号 WDV-60W
磁场大小 最高0.6T
磁铁间距 30mm
极柱直径60mm,标配一副50mm 纯铁极头
循环水冷却
可加选件
屏蔽箱
直流探针
可选联用设备
M81同步源和测量模块
M91快速霍尔测量仪
155精密I/V源
PSM-EM-4室温磁场探针台,PSM-EM-4
PSM-EM-4室温磁场探针台信息由上海胤企制冷设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于PSM-EM-4室温磁场探针台报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
Adgarde 室温磁场探针台(PSM-EM-4)不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试,并且可以为样品测试提供一个可变磁场,磁场较强,磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计,在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。 特点 • 稳定的双位移调节系统,可以调节样品座和探针臂的位移 • 样
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