技术参数:
版面有限,更多资料备索,请******12或登陆http://www.agile-hk.com.cn/agile-hk_ChiClass_2092112_1.html
日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机
PDC200/210型等离子清洗机
【简介】
本产品是专业的表面处理装置,使用等离子技术。
桌台式设计,性能卓越,操作简便,数据显示迅速。广泛应用于电子材料等行业。
【用途】
● 用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理
● 消除有机膜、金属酸化膜
● 用于印刷电路板的干式清洗
● 界面活性处理
【特征】
● RIE/DP模式
● 电极构造均匀分布等离子
● 操作方便的触摸屏
【规格】
型号:PDC200/210
等离子发生模式:附带RIE/DP切换器
电极构造:平行平板(电极固定)
高频输出:最大300W/500W
振荡频率:13.56MHz石英晶体发振
控制/显示:液晶触摸屏
内槽尺寸:宽400×深250×高150mm
载物台尺寸(有效):宽250×深170mm
内槽材料:铝材
反应气体:2系统(氩气、氧气)
清洗气体:氮气或干性气体
反应气体流量控制:流量计/流量控制器
真空泵:旋转式真空泵(约345L/分)
气体输入口:反应气体用2个、清洗用1个
外形尺寸:宽540×深600×高600mm
电源:AC单相100V(50/60Hz)15A/AC三相200V(50/60Hz)15A
德国等离子清洗机
此设备用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等工作。可选择不同射频发生器以满足清洁效率和效果需求。
小型等离子清洗刻蚀机成本低,操作灵活,适合大学、科研单位等场所:
· 半导体开发
· 集成电路开发
· 真空电子行业
· TEM、SEM样品及支架清洁
· 生命科学实验
相较于价格高昂的设备,GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优势:
1、操作更灵活,更易改变处理气体和程序。
2、不会对用户造成伤害。
3、成本微不足道。
该设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和改性等工作,可提升材料性能,增强粘附力、去除有机污染物和油脂。
具体应用包括:
1、塑料、玻璃和陶瓷表面处理
2、金属清洁和去油
在焊接、键合等操作前的准备都离不开等离子处理。3、等离子刻蚀
特点:
· 操作简单、成本低廉
· 处理舱9.5cmx27cm和15cmx31.5cm,可分层放置样品
· 不锈钢处理舱(其他厂家多采用铝制)
· 高效真空电极
· 气体流量由流量计和针阀精确控制
· 手动过程控制
· 功率可在200W以内调节(200W以上功率用于刻蚀)
· 自动阻抗匹配
· 设置参数自由度高:处理时间、功率、气体、压力
· 安全保护功能:真空触发、舱门锁
FEMTO型等离子清洗机
· 反应舱10cmx27cm,水平布置(2升)
· 不锈钢反应舱体
· 40KHz射频发生器
· 高效针孔电极
· 铜气体管、气体流量计、针阀
· 使用气体流量计和针阀控制气体
· 自动计时器控制等离子处理过程
· 半自动控制
· 功率0-100W
· 自动阻抗匹配
· 设置参数自由度高:处理时间、功率、气体、压力
· 安全保护功能:真空触发、舱门锁
· 电磁阀保护,回流油雾不进入反应舱
· 规格:35cm(宽)×25cm(高)×60cm(深) 重量20kg(不含真空泵)
· 电源230V/50Hz;110V/60Hz
选配件
DUO52级真空泵5m3/h,3x10-2mbar(普通油)
稳流调节阀(氧气和普通真空油)
油雾过滤器EMF10
化学回旋器缓解气体泵送
化学回旋器活性炭
PICO型等离子清洗机
· 反应舱15cmx32cm,水平布置(5升)
· 不锈钢反应舱体
· 40KHz射频发生器
· 高效针孔电极
· 数字计时器可自动设定操作程序
· 皮拉尼真空泵可设定重复操作
· 铜气体管、气体流量计、针阀
· 使用气体流量计和针阀控制气体
· 自动计时器控制等离子处理过程
· 半自动控制
· 功率可调至200W
· 自动阻抗匹配
· 设置参数自由度高:处理时间、功率、气体、压力
· 安全保护功能:真空触发、舱门锁
· 电磁阀保护,回流油雾不进入反应舱
· 规格:60cm(宽)×30cm(高)×60cm(深) 重量35kg(不含真空泵)
· 电源230V/50Hz;110V/60Hz
选配件
DUO52级真空泵5m3/h,3x10-2mbar双气体配置:管路、流量计、针阀
13.56MHz射频发生器2.45GHz射频发生器
油雾过滤器EMF10化学回旋器缓解气体泵送
化学回旋器活性炭
PDC200/210雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机, PDC200/210
PDC200/210雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机信息由爱安姆科学仪器(北京)有限公司为您提供,如您想了解更多关于 PDC200/210雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。