技术参数:
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日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机
PDC200/210型等离子清洗机
【简介】
该产品采用等离子技术进行表面处理,具有桌台式设计,性能卓越,操作简便,数据显示清晰。广泛应用于电子材料等行业。
【用途】
● 用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理
● 消除有机膜、金属氧化膜
● 用于印刷电路板的干式清洗
● 界面活性处理
【特点】
● RIE/DP模式
● 电极采用结构均匀分布等离子
● 操作便捷的触摸屏
【规格】型号:PDC200/210
等离子发生模式:带RIE/DP切换器
电极构造:平行平板(固定电极)
高频输出:最大300W/500W
振荡频率:13.56MHz石英晶体振荡
控制/显示:液晶触摸屏
内槽尺寸:宽400×深250×高150mm
载物台尺寸(有效):宽250×深170mm
内槽材料:铝材
反应气体:2系统(氩气、氧气)
清洗气体:氮气或干性气体
反应气体流量控制:流量计/流量控制器
真空泵:旋转真空泵(约345L/分)
气体输入口:反应气体2个、清洗气体1个
外形尺寸:宽540×深600×高600mm
电源:AC单相100V(50/60Hz)15A/AC三相200V(50/60Hz)15A
德国等离子清洗机
该设备可用于清洁、蚀刻、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以满足不同清洁效率和效果需求。
小型等离子清洗刻蚀机成本低、操作灵活,适用于大学、科研机构等高科技生产场合:
· 半导体开发
· 集成电路开发
· 真空电子行业
· TEM、SEM样品及支架清洁
· 生命科学实验
相比于成本高昂的大型产品,GALA等离子清洗刻蚀机有以下优势:
1、操作更灵活,易更改处理气体和程序
2、不会对科研人员造成伤害
3、成本微不足道
此设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性。通过处理,可提高材料润湿能力,实现涂覆、镀操作,增强粘结力,去除有机污染物、油污。
具体应用包括:
1、塑料、玻璃、陶瓷表面活化
2、金属去油和清洁,焊接、粘结、磨合等前进行等离子清洁
3、等离子刻蚀
特点:
· 操作便捷、成本低廉
· 处理舱尺寸为9.5cmx27cm和15cmx31.5cm,可分层放置样品
· 不锈钢处理舱(其他厂家多采用铝制)
· 高效真空电极
· 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制
· 手动操作控制
· 功率可在200W以内调节(200W以上用于刻蚀)
· 自动阻抗匹配
· 可设置参数:处理时间、功率、气体、压力
· 安全功能:真空触发、舱门锁
FEMTO型等离子清洗机
* 反应舱尺寸10cmx27cm,水平放置(2升)
* 不锈钢反应舱体
* 40KHz射频发生器
* 高效针孔电极
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制处理过程
* 半自动控制
* 功率0-100W
* 自动阻抗匹配
* 可设置参数:处理时间、功率、气体、压力
* 安全功能:真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护,回流油雾不进反应舱
* 规格:35cm(宽)×25cm(高)×60cm(深) 重量20kg(不含真空泵)
* 电源230V/50Hz;110V/60Hz
选装件
DUO52级真空泵5m3/h,3x10-2mbar(普通油)
稳流调节阀用氧气和普通真空油时
油雾过滤器EMF10
化学回旋器用活性炭缓解泵送气体
PICO型等离子清洗机
* 反应舱尺寸15cmx32cm,水平放置(5升)
* 不锈钢反应舱体
* 40KHz射频发生器
* 高效针孔电极
* 可自动设定操作程序的数字计时器
* 可设定重复操作的皮拉尼真空泵
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制处理过程
* 半自动控制
* 功率可调至200W
* 自动阻抗匹配
* 可设置参数:处理时间、功率、气体、压力
* 安全功能:真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护,回流油雾不进反应舱
* 规格:60cm(宽)×30cm(高)×60cm(深) 重量35kg(不含真空泵)
* 电源230V/50Hz;110V/60Hz
选装件
DUO52级真空泵5m3/h,3x10-2mbar双气体配置:管路、流量计、针阀
13.56MHz射频发生器2.45GHz射频发生器
油雾过滤器EMF10化学回旋器缓解泵送气体
表面处理仪雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机, PDC200/210
表面处理仪雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机信息由爱安姆科学仪器(北京)有限公司为您提供,如您想了解更多关于表面处理仪雅马拓 等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。