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LeicaEMACE600是一款高真空镀膜仪,配备隔膜泵和涡轮分子泵的无油真空系统,真空度可达2×10-6mbar。镀膜均匀细致,内置石英膜厚检测器,能够精准控制镀膜厚度。全自动电脑控制,实现抽真空、镀膜、放气等全过程自动化,使用简便的触摸屏控制。仪器可选用离子溅射模式镀金属膜,满足FE-SEM的需求。亦可选择碳丝蒸发镀碳膜,用于各种分析,或者使用电子束蒸发方式获得细致的金属或碳膜,可用于特殊用途。具有以下特点:• 可选用多种镀膜方式和配件,满足不同需求• 采用专利设计的脉冲式碳丝蒸发方式,控制碳膜厚度精准• 内置石英膜厚检测器,控制镀膜厚度精度高达0.1nm• 全自动程序控制,实现自动化操作• 简便的触摸屏控制• 使用隔膜泵+涡轮分子泵的无油真空系统,真空度≤2×10-6mbar• 溅射电流可调,方形样品仓设计• 样品台内置旋转,工作距离可调节范围广。
徕卡 高真空镀膜仪电镜制样,Leica EM ACE600
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