基于迈克尔逊干涉的光纤激光尺：光纤激光尺：半导体与超精密加工在机检测闭环解决方案

领域：其他    资料类型：其他资料   

内容概要：本文介绍了中图仪器2026版PLR3000光纤激光尺及其在半导体与超精密加工领域的在机检测闭环解决方案。该产品基于迈克尔逊干涉原理，采用热源分离设计，通过光纤连接探头与主机，实现“冷光探测”，有效克服传统位置反馈设备存在的热漂移、安装空间受限和阿贝误差等瓶颈。

核心技术指标包括0.02ppm稳频精度、1nm分辨率和20MHz采样频率，确保纳米级测量精度与高速动态响应。系统架构上构建“离线标定+在机反馈”闭环，结合SJ系列激光干涉仪进行初始误差标定，并将PLR3000集成至设备控制环路，实现实时位置反馈与误差补偿，配合PO系列测头可完成工件自动找正与加工过程实时监控。典型应用涵盖光刻机工作台、超精密光学加工、电镜载物台等领域，提升复杂工况下的系统精度与稳定性。

适合人群：从事精密装备制造、半导体设备研发、超精密加工工艺开发的技术人员及工程研究人员，具备一定光学测量与自动化控制基础知识的专业人员。; 

使用场景及目标：

①解决高精度运动平台因热变形、机械爬行导致的定位不准问题；

②构建闭环控制系统，实现加工过程中的实时误差补偿与在机检测；

③替代传统光栅尺，提升设备长期稳定性与纳米级控制能力。;  

阅读建议：此资料侧重于高精度测量系统的工程化应用，建议结合实际设备集成案例深入理解其架构设计逻辑，并关注热隔离、阿贝误差消除等关键技术在具体场景中的实施方法。

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