PicoQ®传感器性能优于电容传感器

Mad City Labs的独家PicoQ®传感器技术能够最大程度地降低定位噪声，实现行业内最高的定位分辨率。我们的高性能平台已经超越了压电纳米定位分辨率极限，进入了皮米量级，将同行竞争对手远远甩在后面。传统的电容传感器无法实现皮米级分辨率。Nano-METZ的位置噪声功率谱如下图1所示。具有PicoQ®传感器的定位器展示出飞米/√Hz范围内的噪声底线和皮米范围内的定位分辨率。下图2显示了Nano-HS3M使用Mad City Labs USB接口中的20位DAC执行20皮米峰对峰正弦波驱动时的情况，同时传感器用24位ADC进行采样测量。DAC的最低有效位为5皮米，可以清晰地解析。传统的电容传感器无法测量此级别的数据。我们的竞争对手无法提供这样高精度的数据，用户可以通过测量噪声功率谱来检验产品是否可以真实地实现皮米分辨率。如果用户不具备测量该参数的能力和设备，也可以参考产品供应商提供的出厂测量结果。

图1 Nano-METZ位置噪声功率谱在低频段呈现平坦的响应，位置噪声底噪为400飞米/√赫兹。（点击放大）

图2使用Mad City Labs USB接口20位DAC，输入20pm p-p 0.5Hz正弦波驱动。Nano-HS3M Z轴位移响应。使用Mad City Labs USB接口24位ADC测量传感器。采样率为500Hz，取平均值5次。在带有泡沫外壳的振动隔离台上进行环境条件下的测量。（点击放大）

皮米级分辨率的应用 - 标准校准的直接测量：

位置噪声对许多应用所需的高定位分辨率是至关重要的，包括原子力显微镜（AFM）。Mad City Labs计量级皮米定位器™可用于搭建可以检测皮米级特征的高分辨率AFM系统。下图3显示了对硅（111）中单个原子尺度台阶的准确测量，这证明了使用Mad City Labs皮米定位器™构建的AFM的能力。在硅（111）中测量原子台阶是对已构建的校准标准的直接测量。还可提供其他AFM性能演示。

有关压电纳米定位器分辨率问题的信息，请参阅《Laser Focus World》文章“理解纳米尺度噪声”。该文章详细介绍了压电纳米定位器分辨率相关的原因和限制，以及测量所涉及的过程。这些限制的原因是由于压电纳米定位器的组件以及周围环境所导致的，因此重要的是考虑所有涉及的因素。此外，该文章清楚地证明了使用我们专有的PicoQ®传感器技术的压电纳米定位器与使用电容传感器的压电纳米定位器相比具有更优越的性能。

图3 通过使用PicoQ®传感器技术的皮米定位器™的AFM检测到Si（111）312皮米的原子台阶。

如果您对MCL的皮米级检测定位技术和应用感兴趣，敬请联系MCL公司在国内的独家代理，北京欧兰科技发展有限公司。