打造中国“芯”，赛默飞离子色谱保障高纯半导体级试剂
2019-08-30 00:33:27, 飞飞 赛默飞色谱与质谱分析
关注我们，更多干货和惊喜好礼
唐聪
电子行业的发展为现代生活提供了极大的便利，电子芯片更是让整个世界远离了单纯依靠人力的时代。掌握了芯片技术，某种程度上讲就是掌握了现代IT技术的基础。而除了厂房硬件，芯片制造还需要不断消耗的基础高纯化学材料。
7月1日日本对韩国进行半导体制造过程核心材料氟化聚酰亚胺、光刻胶、高纯度氟化氢等产品的出口管制，把高纯化工材料的问题推上了浪尖。赛默飞离子色谱，满足半导体级别试剂的检测要求，协助化工企业提高标准。
电子级氢氟酸
Q
在高氢氟酸基体条件下，如何测定痕量的杂质阴离子呢？
A
赛默飞二维离子色谱技术方案，只需轻松两步，即可帮您从容应对这一难题，更被纳入《GBT 31369-2015太阳电池用电子级氢氟酸》中，作为推荐分析监测方案。
高氟基体的去除
（点击查看大图）
上图说明了二维离子色谱对电子级氢氟酸基体去除的原理。电子级氢氟酸中大量的氟离子被吸附在离子排斥柱Dionex IonPac ICE-AS6的Donnan膜上，而其他强酸和中强酸的酸根，则先一步流出离子排斥柱，进入到二维离子分析柱中进行分离和测定。整个过程只用超纯水作为流动相，使得电子级氢氟酸中的高氟基体得到很好地去除。
跑得快的阴离子进入二维色谱柱进行分离
图1 氢氟酸样品溶液的离子色谱图
（点击查看大图）
而氢氟酸中的氟硅酸，则需在碱性条件下，使其水解并释放出等摩尔的硅酸盐。选用柱后衍生-紫外检测-离子色谱方案，通过对硅酸盐测定，间接测定氟硅酸的含量，消除了高浓度氟离子基体的干扰，并确保其准确定量低至µg/kg级水平。对样品的前处理需求，仅限于稀释，操作简单方便。
图2 氢氟酸样品中氟硅酸测定谱图（点击查看大图）
半导体制造用水和
表面沾污中痕量离子的分析
图3 超纯水在线浓缩富集测定痕量阴离子
（点击查看大图）
通过淋洗液发生器配合双阀切换在线浓缩装置，淋洗液发生器产生的KOH经过抑制后，产物是水，比碳酸盐体系具有较低的背景电导，所以具有更高的检测灵敏度；而通过在线富集，可以实现超大体积进样，得到更低的检测下限。
电子级硝酸
选用赛默飞高容量阴离子交换色谱柱，只需将样品进行简单稀释后进样，完成高浓度硝酸基体和常见阴离子杂质的分离分析。
（点击查看大图）
（点击查看大图）
配置上，使用2台Aquion或ICS6000双系统组成的阀切换系统，便可以轻松应对电子级试剂的杂质分析难题。赛默飞独特的“只加水”技术，无需配制淋洗液和抑制器再生液，极简操作；淋洗液电解产生，无空白污染，高重现性，检出限可达ppt级别。
赛默飞离子色谱，让您轻松满足半导体级别试剂的检测要求，助力打造中国“芯”！
赛默飞半导体及相关行业解决方案
扫描以下二维码填写表单，立即免费下载【赛默飞半导体及相关行业解决方案】
如需合作转载本文，请文末留言。
02-29 英诺德INNOTEG
龙年新品上线！LAUDA 首款可移动式超低温冰箱！02-29 LAUDA
实用建议：如何合理设计稳定的冻干蛋白配方（二）02-29 莱奥德创
【精彩回放】类器官超全研发进展和应用趋势02-29 美谷分子仪器
开春启航，丹纳赫中国生命科学研究院创新技术课程2024全年预告02-29 美谷分子仪器
您了解 IDBS 吗？欢迎通过这篇文章了解无限潜能的 IDBS02-29 美谷分子仪器
在小分子领域挖呀挖，高通量筛选技术助力“鸟枪换炮”02-29 Viny
【课程预告】创新药物高通量筛选技术（现场联动课）02-29 美谷分子仪器
【产品特色】DispenCell 单细胞分离系统让您温和高效分离单细胞02-29 美谷分子仪器
新一代VELP杜马斯定氮仪——实力提升，智慧升级！02-29
微波消解 ICP-AES法测定防锈颜料三聚磷酸铝中重金属的含量02-29 美诚
新污染物检测方案｜GCMSMS法测定土壤中的毒杀芬02-29 市场部
特色方案｜明胶空心胶囊中环氧乙烷及2-氯乙醇的测定02-29 市场部
日剧日影中的岛津制作所02-29
东方甄选带货又翻车！这款网红饮品被海关点名，曾被检出泻药成分02-29
信立美科 离子色谱，简化测定流程，一次进样检测多种离子，高效稳定02-29 cici
线上直播 | HJ1317-2023、新污染物 环境新标解读02-29
项目文章 | 二硫键：马铃薯面团加工的“改良密码”02-29
展会邀请丨相约CHINA LAB 2024，睿科集团解决方案一睹为先02-29
碳酸锂含量的测定02-29