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压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm,最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度,可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位,微扫描等应用。
参数
单位
XY25XS
XY200M
型号
V-XYXS25
V-XYM200
备注
-
传感器
SG
SG,ECS
主动轴
TX,TY
最大空载位移[Tx,Ty]
um
25
200
Z方向最大面外位移
0.50
1.00
Z方向的最大转动
urad
50
240
XY方向的最大转动
10
电压范围
V
-20…150
硬度
N/um
2.50
0.59
高度(Z 轴)
mm
18.0
22.0
尺寸(X&Y 轴)
50*50
100*100
分辨率
nm
0.3
2.0
质量
g
80
180
空载共振频率(在致动方向)
Hz
3000
580
响应时间
ms
0.17
0.86
电容 (每个电气接口)
uF
6.30
机械接口(有效负载)
1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm
3Ф2.7mm holes onⅡ38
机械接口 (框架)
4 Ф2.8mm holes on []45
4 Ф4.5mm holes on []84
电气接口
2 RG178B/U同轴电缆
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XY轴压电平台, XY Series
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