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压电平台XY200M沿X,Y和Z轴的行程为200 μm,最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜,掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。
参数
单位
XYZ200M
型号
V-XYZM200
备注
-
传感器
SG,ECS
主动轴
TX,TY,TZ
最大空载位移[Tx,Ty]
um
180
Z方向最大面外位移
200
Z方向的最大转动
urad
240
XY方向的最大转动
50
电压范围
V
-20…150
硬度
N/um
0.66
高度(Z 轴)
mm
44.0
尺寸(X&Y 轴)
100*100
分辨率
nm
1.8
质量
g
540
空载共振频率(在致动方向)
Hz
380
响应时间
ms
1.32
电容(每个电气接口)
uF
6.30
机械接口(有效负载)
物镜接口最大4/55 *1.36(指定)
机械接口(框架)
4 Ф4.5mm 孔 []84
电气接口
3 RG178B/U 同轴电缆
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