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倾斜平移台采用了2个APA®致动器,可以产生两种类型的运动: ?Z当两个致动器同步致动时,轴运动(平移)可达80μm?当两个致动器相反致动时,ΘX运动(平移)可达+/- 0.6°倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计,配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动,仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。
参数
单位
TT60SM
型号
V- TT60SM
备注
-
传感器
SG
主动轴
TZ,RX
最大空载位移[Tz]
um
80.0
角位移[Rx]
mrad(+/-)
11.00
Y方向的最大面外位移
25.0
电压范围
V
-20…150
硬度
N/um
2.0
高度(Z 轴)
mm
18.0
宽度(Y 轴)
13.0
长度(X 轴)
纵向分辨率[Tz]
nm
0.8
角度分辨率[Rx]
urad
0.1
质量
g
65
空载共振频率(在致动方向)
Hz
3000
响应时间
ms
0.17
电容 (每个电气接口)
uF
1.55
机械接口(有效负载)
平坦表面 2.5 *8mm2
机械接口(框架)
2 M2螺纹孔
电气接口
4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug
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