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产品特点:◆ 新配置的专用“慢充”控制,提供理想的二氧化碳流体动力学,保护易脆样品;◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置,保护样品,易更换和后期维护;◆ 采用独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌,使PURGE完整不破坏样品;◆ 高效内部封闭冷却循环系统,快速冷却腔体温度,缩短操作时间;◆ 内置SOTER冷凝器,分离废弃乙醇和废气,消除排气噪音;◆ 独特的样品室填块,改变样品室直径,减少液态二氧化碳消耗和处理时间,并兼容不同尺寸晶圆;◆ 内部过滤系统,过滤进样品室的液态二氧化碳,过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm;◆ 一次运行可处理5片6英寸晶圆,改变样品室尺寸,每次运行也可分别处理4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶;◆ 标配特氟龙兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个;◆ 垂直样品室,内有照明,样品室盖子带观察窗;◆ 明亮的LCD触屏控制;◆ 内置出厂自动运行程序及可创建和保存个性化程序;◆ 所有内部表面适用于CO2、丙酮和超纯乙醇;◆ 可重复设置参数,确保结果可重复性;◆ 集成自动控温和静态压力控制模块,确保安全运行;◆ 洁净室和防静电兼容设计;◆ 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;产品规格:◆ 外部尺寸:宽19.8”(50.3cm)×深31.7”(80.6cm)×高44.5”(113.0cm);◆ 安装占地尺寸:宽27”(68.6cm)×深38”(96.5cm);◆ 样品室尺寸:内径6.5”×深1.25”,样品室容积:679ml;◆ LCO2流速通过带游标卡尺的微型计量阀门控制;◆ 120V/50-60HZ(可选其他电压);标准配件:◆ 高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon)3米长;◆ 双T型过滤装置,过滤微小颗粒,过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;◆ 安装工具;◆ 防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;◆ 样品室O型圈3个,样品室LED照明灯1个,3A和8A保险丝各2个;◆ 4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6、4、3、2和1.25英寸;◆ 直径为6、4、3、2英寸晶圆样品架和边长为10mm方晶样品架各1个,样品架HF兼容;◆ 用户手册;
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