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产品特点:◆ 新配置的专用“慢充”控制,保护易脆样品;◆ 外部配置了PURGE后的过滤装置,方便更换和维护;◆ 独家专利的“VortexSwirl”非机械搅拌,保持样品完整;◆ 高效内部封闭冷却循环系统,快速降低温度;◆ 内置SOTER冷凝器,消除排气噪音;◆ 样品室填块可以改变直径,减少消耗量和处理时间;◆ 内部过滤系统,过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm;◆ 可处理不同尺寸晶圆;◆ 多种配件标配;◆ 垂直样品室,内腔照明;◆ 明亮的LCD触屏控制;◆ 内置出厂自动运行程序;◆ 所有内部表面适用于不同化学物质;◆ 参数可重复设置;◆ 集成自动控温和压力控制模块;◆ 洁净室和防静电设计;◆ 符合多项标准;产品规格:◆ 外部尺寸:宽19.8”×深31.7”×高44.5”;◆ 安装占地尺寸:宽27”×深38”;◆ 样品室尺寸:内径6.5”×深1.25”,容积679ml;◆ LCO2流速可调;◆ 电压可选;标准配件:◆ 高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon);◆ 双T型过滤装置;◆ 安装工具;◆ 防静电排气管;◆ 样品室O型圈和LED照明灯;◆ 保险丝和样品室填块;◆ 各种样品架;◆ 用户手册;
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