PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统原子层沉积(ALD)(ForgeNano)

PROMETHEUS流化床原子层沉积系统可以提高材料性能和使用寿命，特别适用于锂电池的正极或负极材料。目前工业上常用的包覆方法是机械混合的干法，但这种方法无法实现均匀包覆并且性能提升有限。ALD技术能够实现高精度均匀包覆，是一个理想的包覆手段。

ForgeNano针对粉末类材料比表面积大的特点，采用流化床技术实现粉末材料的流化，从而保证前驱体与粉末充分接触。P系列是ForgeNano专为工业包覆研发的粉末ALD负载系统，能够实现kg级粉末批量包覆，是工业生产前最理想的研发工具。

产品规格：
1. 前驱体通道：2-8
2. 腔室容量：0-600ml
3. 反应器温度：450℃
4. 最高工艺温度：200℃
5. 振动流化床反应器
6. 模块：流化辅助，质谱，臭氧发生器，等离子体发生器

P系列是ForgeNano专为粉末ALD开发的研发级工具，使用流化床技术可保证粉末在反应器中的良好分散，有利于前驱体的扩散。利用流化辅助模块、高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒，确保分散效果。所有前驱体源均可独立加热，保证最佳运输条件，对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P系列还拥有独特的阀门控制系统，可以实现多通道前驱体输运。

P系列配置了气体在线分析系统，对ALD工艺的改善有较大帮助，使用者可通过气体成分判断反应的完成度。

在锂电池应用中，包覆锂电池的正极或负极材料可以有效提升其放电性能及使用寿命。对于3D打印粉末，直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应，因此对催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用ALD可以直接在粉末，纤维材料表面生长高活性纳米涂层，另一种方法是利用模板法结合ALD在表面构筑特定结构，暴露活性位点。 此外，也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆，防止催化剂烧结团聚。

PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统原子层沉积(ALD),PROMETHEUS

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