顶尖的高度测量仪
中图仪器NS系列国产薄膜台阶高度测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm......
中图仪器NS系列纳米级台阶高度测量仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的......
中图仪器NS系列软膜材料台阶高度测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测......
NS系列膜层厚度台阶高度测量仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。NS系列膜层厚度台阶高度测量......
中图仪器NS系列半导体台阶高度测量仪器是一款专为高精度微观形貌测量设计的超精密接触式仪器，广泛应用于半导体、光伏、MEMS、光学加工等领域。通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供......
NS系列探针式台阶高度测量仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应......
NS系列探针式薄膜厚度台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。台阶高度重复性能低于5A，Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级，且垂直方向动态比率高，可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形......
中图仪器NS系列膜层厚度台阶高度测量仪亚埃级精度，为B2B行业微观测量痛点提供一站式解决方案。一、多场景测量解决方案：覆盖全场景测量需求1、核心参数测量：精准匹配工艺全流程（1）台阶高度测量：适配蚀刻、溅射、沉积、CMP等工艺，精准量化材料沉积/去除量，保障工艺稳定性。（2）粗糙度&波纹度分析：通过微观轮廓曲线计算数十项参数，满足严格质量管控标准。（......